Hoogzuivere 99,8% titanium grade 7 ronde sputterdoelen, titaniumlegeringsdoelwit voor coating, fabrieksleverancier
Productparameters
| Productnaam | Titanium target voor PVD-coatingmachine |
| Cijfer | Titanium (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)Legeringsdoel: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr enz |
| Oorsprong | Baoji stad Shaanxi provincie China |
| Titaniumgehalte | ≥99,5 (%) |
| Onzuiverheidsgehalte | <0,02 (%) |
| Dikte | 4,51 of 4,50 g/cm3 |
| Standaard | ASTM B381; ASTM F67, ASTM F136 |
| Maat | 1. Rond doelwit: Ø30-2000 mm, dikte 3,0 mm-300 mm;2. Plaatdoelwit: Lengte: 200-500 mm, Breedte: 100-230 mm, Dikte: 3-40 mm;3. Buisspecificaties: Diameter: 30-200 mm, Wanddikte: 5-20 mm, Lengte: 500-2000 mm;4. Maatwerk is mogelijk. |
| Techniek | Gesmeed en CNC-gefreesd |
| Sollicitatie | Halfgeleiderscheiding, filmcoatingmaterialen, coating van opslagelektroden, sputtercoating, oppervlaktecoating, glascoatingindustrie. |
Chemische vereisten van het titaniumdoelwit
| ASTM B265 | GB/T 3620.1 | JIS H4600 | Elementgehalte (≤gewicht%) | ||||||
| N | C | H | Fe | O | Anderen | ||||
| Zuiver titanium | Gr.1 | TA1 | Klasse 1 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,20 | 0,18 | / |
| Gr.2 | TA2 | Klasse 2 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | / | |
| TitaniumLegering | Gr.5 | TC4Ti-6Al-4V | Klasse 60 | 0,05 | 0,08 | 0,015 | 0,40 | 0,2 | Al: 5,5-6,75 V:3.5-4.5 |
| Gr.7 | TA9 | Klas 12 | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Pd:0.12-0.25 | |
| Gr.12 | TA10 | Klasse 60E | 0,03 | 0,08 | 0,015 | 0,30 | 0,25 | Mo:0,2-0,4 Ni:0,6-0,9 | |
Longitudinale mechanische eigenschappen bij kamertemperatuur
| Cijfer | TreksterkteRm/MPa(>=) | VloeigrensRp0.2(MPa) | VerlengingA4D(%) | OppervlakteverkleiningZ(%) |
| Groep 1 | 240 | 140 | 24 | 30 |
| Gr2 | 400 | 275 | 20 | 30 |
| Gr5 | 895 | 825 | 10 | 25 |
| Gr7 | 370 | 250 | 20 | 25 |
| Gr12 | 485 | 345 | 18 | 25 |
Titanium sputterdoelen
De meest voorkomende afmetingen van het titanium sputterdoel zijn: Φ100*40, Φ98*40, Φ95*45, Φ90*40, Φ85*35, Φ65*40, enz.
Ook mogelijk om aanpassingen te maken volgens de wensen of tekeningen van de klant.
Doelvereisten: hoge zuiverheid, uniforme kristalkorrels en goede compactheid.
Zuiverheid: 99,5%, 99,95%, 99,98%, 99,995%.
Productieproces van titanium targets
titanium spons --- gesmolten tot titaniumstaaf --- test --- snijden van de staaf --- smeden --- walsen --- schillen --- richten --- ultrasone foutdetectie --- verpakken
Kenmerken van het titaniumdoel
1. Lage dichtheid en hoge specificatiesterkte
2. Uitstekende corrosiebestendigheid
3. Goede hittebestendigheid
4. Uitstekende eigenschappen voor cryogene toepassingen
5. Niet-magnetisch en niet-giftig
6. Goede thermische eigenschappen
7. Lage elasticiteitsmodulus







